Substrato de MgF2
Priskribo
MgF2 estas uzata kiel lenso, prismo kaj fenestro por ondolongo de 110nm ĝis 7.5μm.Ĝi estas plej taŭga materialo kiel fenestro por ArF Excimer Laser, pro ĝia bona transdono ĉe 193nm.Ĝi ankaŭ estas efika kiel optika polarizaĵo en la ultraviola regiono.
Propraĵoj
| Denso (g/cm).3） | 3.18 |
| Fandpunkto (℃) | 1255 |
| Termika Kondukto | 0.3 Wm-1K-1 ĉe 300K |
| Termika Ekspansio | 13,7 x 10-6 /℃ paralela c-akso 8,9 x 10-6 /℃ perpendikulara c-akso |
| Knoop Malmoleco | 415 kun 100g indentilo (kg/mm2) |
| Specifa Varmo Kapacito | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektrika Konstanto | 1.87 ĉe 1MHz paralela c-akso 1.45 ĉe 1MHz perpendikulara c-akso |
| Youngs Modulo (E) | 138,5 GPa |
| Tonda Modulo (G) | 54.66 GPa |
| Pogranda Modulo (K) | 101,32 GPa |
| Elasta Koeficiento | C11=164;C12=53;C44=33.7 C13=63;C66=96 |
| Ŝajna Elasta Limo | 49.6 MPa (7200 psio) |
| Poisson Proporcio | 0.276 |
MgF2 Substrato Difino
MgF2-substrato rilatas al substrato farita el magnezia fluorido (MgF2) kristala materialo.MgF2 estas neorganika kunmetaĵo kunmetita de magnezio (Mg) kaj fluoro (F) elementoj.
MgF2-substratoj havas plurajn rimarkindajn trajtojn kiuj igas ilin popularaj en gamo da aplikoj, precipe en la kampoj de optiko kaj maldikfilma atestaĵo:
1. Alta travidebleco: MgF2 havas bonegan travideblecon en la ultraviola (UV), videbla kaj infraruĝa (IR) regionoj de la elektromagneta spektro.Ĝi havas larĝan dissendintervalon de ultraviola je proksimume 115 Nm ĝis infraruĝa je proksimume 7,500 Nm.
2. Malalta indico de refrakto: MgF2 havas relative malaltan indicon de refrakto, kio faras ĝin ideala materialo por AR-tegaĵoj kaj optiko, ĉar ĝi minimumigas nedeziratajn reflektojn kaj plibonigas luman transdonon.
3. Malalta sorbado: MgF2 elmontras malaltan sorbadon en la ultraviolaj kaj videblaj spektraj regionoj.Ĉi tiu posedaĵo igas ĝin utila en aplikoj postulantaj altan optikan klarecon, kiel ekzemple lensoj, prismoj kaj fenestroj por transviolaj aŭ videblaj traboj.
4. Kemia stabileco: MgF2 estas kemie stabila, imuna al vasta gamo de kemiaĵoj, kaj konservas siajn optikojn kaj fizikajn proprietojn sub ampleksa gamo de mediaj kondiĉoj.
5. Termika stabileco: MgF2 havas altan fandpunkton kaj povas elteni altajn labortemperaturojn sen grava degradado.
MgF2-substratoj estas ofte uzitaj en optikaj tegaĵoj, maldikaj filmaj deponprocezoj, kaj optikaj fenestroj aŭ lensoj en diversaj aparatoj kaj sistemoj.Ili ankaŭ povas funkcii kiel bufrotavoloj aŭ ŝablonoj por la kresko de aliaj maldikaj filmoj, kiel ekzemple semikonduktaĵoj aŭ metalaj tegaĵoj.
Tiuj substratoj estas tipe produktitaj uzante teknikojn kiel ekzemple vapordemetado aŭ fizikaj vaportransportmetodoj, kie MgF2-materialo estas deponita sur taŭga substratmaterialo aŭ kreskigita kiel ununura kristalo.Depende de aplikaj postuloj, substratoj povas esti en la formo de oblatoj, teleroj aŭ kutimaj formoj.
